安全门开关
槽型传感器
光电传感器
接近传感器
光幕传感器
光纤传感器
激光雷达
微型激光位移
高精度定位平台
有铁芯HL1系列
有铁芯HL2系列
有铁芯HL3系列
有铁芯HL3A系列
有铁芯HL8系列
无铁芯HLU系列
直线电机模组
轴向磁场DD马达
电话：+8651266090818
传真：+8651266090618
邮箱：office@hoyeer.com
网址：www.hoyeer.com
地址：中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区新平街388号21幢5层
七轴LDI激光直写平台，选用高精度光栅位置反馈，采用无铁芯直线电机直驱控制。主要应用在半导体生产线、微电子生产、LCD显示、线路板生产等工业项目中。
X轴、Y轴重复定位精度为±1.5um，定位精度为±2.5um，偏摆角小于5arcsec，X轴有效行程为1100mm，Y轴有效行程为900mm。
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