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高精度定位平台
有铁芯HL1系列
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直线电机模组
轴向磁场DD马达
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Z轴升降平台,选用高精度光栅位置反馈，主要应用于半导体领域的缺陷检测，光学透镜检测和精密加工等，可以根据客户需求定制更大行程和更强承载能力的高精密升降台。
Z轴重复定位精度为±3um，定位精度为±5um，有效行程为30mm，负载60kg
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