安全门开关
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微型激光位移
高精度定位平台
有铁芯HL1系列
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直线电机模组
轴向磁场DD马达
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XY晶圆划片平台，主要应用于硅晶圆开槽、晶圆检测、激光加工等工业领域中
X轴、Y轴重复定位精度为±0.6um,定位精度为±1um;X轴有效行程为400mm，Y轴有效行程为600mm。
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