安全门开关
槽型传感器
光电传感器
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光纤传感器
激光雷达
微型激光位移
高精度定位平台
有铁芯HL1系列
有铁芯HL2系列
有铁芯HL3系列
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有铁芯HL8系列
无铁芯HLU系列
直线电机模组
轴向磁场DD马达
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XY一体式精密定位平台,应用于晶圆切割，特点是采用伪双驱的方式，使用一个驱动器控制两台电机同时运动，对电机的同一性及结构性要求较高。
X、Y轴重复定位精度为±1.1um、±1um，定位精度为±2.5um、±2um，双Y轴行程为400mm、X轴行程300mm，负载为10kg、
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